Mikroelektromechanische Systeme (MEMS)

Die Mikroelektromechanik nutzt Fertigungsverfahren der Mikroelektronik zur Herstellung winziger mechanischer Komponenten

Klassische Mikroelektromechanische Systeme werden hauptsächlich auf und aus Siliziumwafern gebaut, d.h. das einkristalline Silizium ist integraler Bestandteil der mechanischen Komponenten. Solche MEM Systeme sind im Allgemeinen sehr leistungsfähig, dagegen ist ihre physikalische Größe durch die maximalen Wafergrößen und vielmehr noch durch die hohen Kosten pro Fläche beschränkt.

Am IGM wird daran gearbeitet, die Prozesse der großflächigen Mikroelektronik auch für die Mikromechanik nutzbar zu machen bzw. die mikroelektronischen Komponenten durch mikromechanische Bauteile zu ergänzen. So ist beispielsweise ein Fertigungsprozess entwickelt worden, der es erlaubt, mit lediglich vier Photolithographieschritten a-Si:H TFTs und mikromechanische Bauelemente parallel auf billigen Glassubstraten herzustellen.

Es konnten erste Prototypen von MEMS basierten Displays entwickelt und hergestellt werden, die, bei gegenüber beispielsweise AMLCD oder AMOLED Displays wesentlich reduziertem Fertigungsaufwand, sehr vielversprechende Ergebnisse hinsichtlich Schaltgeschwindigkeit, Kontrast und Energieverbrauch zeigen.

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M.Sc.

Sheikh Abdullah Al Nusayer

Wissenschaftlicher Mitarbeiter

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Dr.-Ing.

Patrick Schalberger

Wissenschaftlicher Mitarbeiter

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