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Mikroelektromechanische Systeme

Großflächige Mikroelektromechanik

REM-Aufnahme von MEMS-Strukturen

REM-Aufnahme von MEMS-Strukturen

Am IGM wird untersucht, wie bekannte Technologien der Flachbildschirmfertigung genutzt werden können, um großflächige mikroelektromechanische Systeme herzustellen. Mögliche Anwendungen beinhalten Ultraschalltransducer, MEMS Displays und Sensoren.